一种新型晶圆清洗篮

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420597286.5

申请日：

2024-03-26

公开(公告)号：

CN222015367U

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

袁黔云

申请人：

东莞市日月辉科技有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市东坑镇初坑骏马西路22号

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

代理机构：

深圳市圳博友邦专利代理事务所(普通合伙) 44600

代理人：

陈烈军

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-07	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移IPC(主分类):H01L 21/673登记生效日:20251023变更事项:专利权人变更前权利人:东莞市日月辉科技有限公司变更后权利人:广东迈捷微新材料有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:523000 广东省东莞市东坑镇初坑骏马西路22号变更后权利人:523000 广东省东莞市东坑镇初坑骏马西路22号2号楼
2024-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗篮 [P].

林宇杰 ;

董庆安 ;

杨辉 ;

吴伟 .

中国专利 :CN203503631U ,2014-03-26

[2]

一种晶圆清洗机的清洗篮 [P].

倪裕林 ;

徐新志 ;

尹旺 ;

王健忠 .

中国专利 :CN213519903U ,2021-06-22

[3]

一种新型硅片清洗篮 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

刘太盛 .

中国专利 :CN214378362U ,2021-10-08

[4]

一种晶圆单片清洗机的清洗篮 [P].

王婉婷 .

中国专利 :CN218394998U ,2023-01-31

[5]

一种新型清洗篮 [P].

李志斌 ;

陈艳平 ;

杨泽林 ;

朱斌 ;

汤洁 .

中国专利 :CN221086676U ,2024-06-07

[6]

一种新型清洗篮 [P].

张明华 .

中国专利 :CN208592174U ,2019-03-12

[7]

一种无篮晶圆多清洗槽清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

童建 .

中国专利 :CN213826090U ,2021-07-30

[8]

一种晶圆篮具 [P].

周飞龙 ;

张亚飞 ;

闫岩 ;

林海亚 ;

史晓波 ;

冯敏强 .

中国专利 :CN211743108U ,2020-10-23

[9]

一种晶圆清洗设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223092827U ,2025-07-11

[10]

一种晶圆片片篮 [P].

裴坤羽 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN213905323U ,2021-08-06

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