晶圆清洗篮

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320614447.9

申请日：

2013-09-30

公开(公告)号：

CN203503631U

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

林宇杰董庆安杨辉吴伟

申请人：

申请人地址：

201108 上海市闵行区元明路128号一层、二层

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

上海三方专利事务所 31127

代理人：

吴干权;单大义

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-26	授权	授权
2018-09-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20130930 授权公告日:20140326 终止日期:20170930

共 50 条

[1]

一种新型晶圆清洗篮 [P].

袁黔云 .

中国专利 :CN222015367U ,2024-11-15

[2]

一种晶圆清洗机的清洗篮 [P].

倪裕林 ;

徐新志 ;

尹旺 ;

王健忠 .

中国专利 :CN213519903U ,2021-06-22

[3]

片篮托架、晶圆干燥设备及晶圆清洗设备 [P].

左国军 ;

王雪松 ;

庄海云 .

中国专利 :CN222690654U ,2025-03-28

[4]

晶圆清洗结构、晶圆清洗设备 [P].

周尤 ;

姚华东 ;

班恒生 ;

刘柏宏 .

中国专利 :CN223401573U ,2025-09-30

[5]

旋转清洗圆篮 [P].

张欣欣 ;

张远东 ;

闵元元 ;

梁长江 ;

熊盼龙 ;

黄尚林 ;

卢加傲 .

中国专利 :CN206199842U ,2017-05-31

[6]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

谷勋 .

中国专利 :CN204885113U ,2015-12-16

[7]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203803846U ,2014-09-03

[8]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213601840U ,2021-07-02

[9]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汪坚俊 ;

施成 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203018351U ,2013-06-26

[10]

晶圆清洗花篮及晶圆清洗系统 [P].

程谦 ;

王虎 ;

陈贤辉 .

中国专利 :CN208781813U ,2019-04-23

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