晶圆清洗刷和晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420241889.8

申请日：

2014-05-12

公开(公告)号：

CN203803846U

公开(公告)日：

2014-09-03

发明(设计)人：

唐强马智勇

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B104 B08B704

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-03	授权	授权
2020-05-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20140512 授权公告日:20140903 终止日期:20190512

共 50 条

[1]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202443959U ,2012-09-19

[2]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202698196U ,2013-01-30

[3]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213781994U ,2021-07-23

[4]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

谷勋 .

中国专利 :CN204885113U ,2015-12-16

[5]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213601840U ,2021-07-02

[6]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汪坚俊 ;

施成 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203018351U ,2013-06-26

[7]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN102755980A ,2012-10-31

[8]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

董文杰 ;

王怀锋 ;

余文军 ;

黄孝鹏 .

中国专利 :CN202621481U ,2012-12-26

[9]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN112974324B ,2021-06-18

[10]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18

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