晶圆清洗刷和晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110103146.5

申请日：

2011-04-25

公开(公告)号：

CN102755980A

公开(公告)日：

2012-10-31

发明(设计)人：

沙酉鹤

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区上海市张江路18号

IPC主分类号：

B08B1300

IPC分类号：

B08B1100 H01L2100

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-31	公开	公开
2015-05-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715073773 IPC(主分类):B08B 13/00 专利申请号:2011101031465 申请公布日:20121031
2012-12-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101370317632 IPC(主分类):B08B 13/00 专利申请号:2011101031465 申请日:20110425

共 50 条

[1]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202443959U ,2012-09-19

[2]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203803846U ,2014-09-03

[3]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202698196U ,2013-01-30

[4]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213781994U ,2021-07-23

[5]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

谷勋 .

中国专利 :CN204885113U ,2015-12-16

[6]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213601840U ,2021-07-02

[7]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汪坚俊 ;

施成 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203018351U ,2013-06-26

[8]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN112974324B ,2021-06-18

[9]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

董文杰 ;

王怀锋 ;

余文军 ;

黄孝鹏 .

中国专利 :CN202621481U ,2012-12-26

[10]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18

← 1 2 3 4 5 →