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晶圆清洗刷和晶圆清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022986971.1
申请日：
2020-12-10
公开(公告)号：
CN213781994U
公开(公告)日：
2021-07-23
发明(设计)人：
董明
申请人：
申请人地址：
312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
曹廷廷
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-23 | 授权 | 授权 |
| 2021-08-20 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人 变更前:中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 变更后:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 变更事项:地址 变更前:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号 变更后:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号 |