晶圆清洗刷及晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220293460.4

申请日：

2012-06-20

公开(公告)号：

CN202621481U

公开(公告)日：

2012-12-26

发明(设计)人：

董文杰王怀锋余文军黄孝鹏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B08B104

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-08	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):B08B 1/04 申请日:20120620 授权公告日:20121226
2013-05-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101591603876 IPC(主分类):B08B 1/04 专利号:ZL2012202934604 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130424
2012-12-26	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN112974324B ,2021-06-18

[2]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202698196U ,2013-01-30

[3]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213781994U ,2021-07-23

[4]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN202443959U ,2012-09-19

[5]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

谷勋 .

中国专利 :CN204885113U ,2015-12-16

[6]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203803846U ,2014-09-03

[7]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

董明 .

中国专利 :CN213601840U ,2021-07-02

[8]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

汪坚俊 ;

施成 ;

李佩 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203018351U ,2013-06-26

[9]

晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

沙酉鹤 .

中国专利 :CN102755980A ,2012-10-31

[10]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18

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