旋转清洗圆篮

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621093722.7

申请日：

2016-09-29

公开(公告)号：

CN206199842U

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

张欣欣张远东闵元元梁长江熊盼龙黄尚林卢加傲

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区沙井步涌同富裕工业园A-5地块B7栋

IPC主分类号：

B08B1300

IPC分类号：

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411

代理人：

张清彦

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗篮 [P].

林宇杰 ;

董庆安 ;

杨辉 ;

吴伟 .

中国专利 :CN203503631U ,2014-03-26

[2]

旋转沥水篮 [P].

陈明华 .

中国专利 :CN217185834U ,2022-08-16

[3]

晶圆旋转清洗装置 [P].

李佳森 ;

裴文龙 ;

陈晨 ;

张少阳 ;

谷晓东 .

中国专利 :CN213103532U ,2021-05-04

[4]

一种工装篮旋转清洗甩水装置 [P].

李金龙 .

中国专利 :CN215843628U ,2022-02-18

[5]

一种新型晶圆清洗篮 [P].

袁黔云 .

中国专利 :CN222015367U ,2024-11-15

[6]

徐针作 ;

王浩浩 ;

王冠军 .

中国专利 :CN216324048U ,2022-04-19

[7]

一种晶圆清洗机的清洗篮 [P].

倪裕林 ;

徐新志 ;

尹旺 ;

王健忠 .

中国专利 :CN213519903U ,2021-06-22

[8]

张岩 ;

谢哲彦 ;

刘春华 .

中国专利 :CN221109186U ,2024-06-11

[9]

赵鹏 .

中国专利 :CN212521577U ,2021-02-12

[10]

刁忠宪 ;

徐桂海 .

中国专利 :CN201625654U ,2010-11-10

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