晶圆清洗花篮及晶圆清洗系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821308964.2

申请日：

2018-08-14

公开(公告)号：

CN208781813U

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

程谦王虎陈贤辉

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

北京众达德权知识产权代理有限公司 11570

代理人：

刘杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置及晶圆清洗系统 [P].

赵宝君 ;

祝福生 ;

张伟锋 ;

袁恋 ;

王文丽 ;

夏楠君 .

中国专利 :CN110047788B ,2019-07-23

[2]

晶圆清洗花篮 [P].

俞挺 ;

张学敏 ;

魏红霞 .

中国专利 :CN205564720U ,2016-09-07

[3]

晶圆清洗系统及晶圆清洗方法 [P].

史蒂文·贺·汪 .

中国专利 :CN112053972A ,2020-12-08

[4]

晶圆清洗设备和晶圆清洗系统 [P].

张锋 .

中国专利 :CN114203572A ,2022-03-18

[5]

承载装置、晶圆花篮及晶圆清洗设备 [P].

刘福生 ;

初国超 .

中国专利 :CN110335841B ,2019-10-15

[6]

一种晶圆清洗花篮 [P].

曹刚 .

中国专利 :CN222705470U ,2025-04-01

[7]

晶圆清洗系统 [P].

钱子隆 ;

许定 ;

张再辉 ;

王刚 .

中国专利 :CN216528758U ,2022-05-13

[8]

一种晶圆清洗方法及晶圆清洗系统 [P].

李国强 ;

衣新燕 ;

廖东园 .

中国专利 :CN118969601A ,2024-11-15

[9]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

吴奇龙 .

中国专利 :CN112864043A ,2021-05-28

[10]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

董鹏 .

中国专利 :CN113690127A ,2021-11-23

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