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承载装置、晶圆花篮及晶圆清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910635230.8
申请日：
2019-07-15
公开(公告)号：
CN110335841B
公开(公告)日：
2019-10-15
发明(设计)人：
刘福生
初国超
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L21687
H01L2167
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;张天舒
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20190715 |
| 2022-07-22 | 授权 | 授权 |
| 2019-10-15 | 公开 | 公开 |