用于对室清洁处理进行控制的方法和处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580011000.0

申请日：

2005-04-14

公开(公告)号：

CN1942603A

公开(公告)日：

2007-04-04

发明(设计)人：

以马利·盖德帝

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23F400

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

柳春雷

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101663503187 IPC(主分类):C23C 16/44 专利号:ZL2005800110000 申请日:20050414 授权公告日:20100120 终止日期:20150414
2007-04-04	公开	公开
2007-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-01-20	授权	授权

共 50 条

[1]

对集群用户进行处理的方法和集群用户处理系统 [P].

王华 ;

谢国军 ;

傅赛香 .

中国专利 :CN100433861C ,2007-03-07

[2]

基板处理系统和处理容器清洁方法 [P].

佐佐木芳彦 ;

三枝直也 ;

佐佐木和男 .

日本专利 :CN119092451A ,2024-12-06

[3]

用于对血浆处理系统的流体回路进行灌注的系统和方法 [P].

H·B·布雷沃 ;

M·M·马丁 ;

T·珀尔曼 .

美国专利 :CN118594035A ,2024-09-06

[4]

用于对血浆处理系统的流体回路进行灌注的系统和方法 [P].

H.B.布雷沃 ;

M.M.马丁 ;

T.珀尔曼 .

美国专利 :CN111868232B ,2024-05-28

[5]

用于对血浆处理系统的流体回路进行灌注的系统和方法 [P].

H.B.布雷沃 ;

M.M.马丁 ;

T.珀尔曼 .

中国专利 :CN111868232A ,2020-10-30

[6]

对豆类进行清洁的节水环保工业化处理系统和方法 [P].

吴家模 .

中国专利 :CN100435984C ,2006-07-12

[7]

用于控制废气处理系统的方法 [P].

J·C·米勒 ;

M·A·史密斯 .

中国专利 :CN107806358A ,2018-03-16

[8]

处理系统和用于操作处理系统的方法 [P].

拉尔夫·林德伯格 ;

尔卡恩·科帕拉 ;

托马斯·贝尔格 .

中国专利 :CN102112647A ,2011-06-29

[9]

衬底处理系统的室清洁 [P].

王栋 ;

康虎 ;

郑慧峰 ;

梁德富 ;

约瑟夫·林德赛·沃马克 ;

李明 ;

孟昕 ;

罗希特·欧德 .

美国专利 :CN120981600A ,2025-11-18

[10]

空气处理系统的控制方法和空气处理系统 [P].

孟庆好 ;

张建华 ;

黄勇 .

中国专利 :CN104566832A ,2015-04-29

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