处理系统和用于操作处理系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980124557.3

申请日：

2009-04-07

公开(公告)号：

CN102112647A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

拉尔夫·林德伯格尔卡恩·科帕拉托马斯·贝尔格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

柳春雷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096318442 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2009801245573 申请日:20090407
2017-05-03	授权	授权
2011-06-29	公开	公开

共 50 条

[1]

处理系统以及操作处理系统的方法 [P].

王雨豪 ;

牛迪民 ;

关义金 ;

王圣诚 ;

李双辰 ;

郑宏忠 .

中国专利 :CN114238156B ,2025-02-18

[2]

处理系统以及操作处理系统的方法 [P].

王雨豪 ;

牛迪民 ;

关义金 ;

王圣诚 ;

李双辰 ;

郑宏忠 .

中国专利 :CN114238156A ,2022-03-25

[3]

纱线处理系统和操作纱线处理系统的方法 [P].

耶克·海尔斯特伦 ;

托马斯·朗德博格 ;

拉尔斯·H·G·托兰德 .

中国专利 :CN1118731C ,2002-04-03

[4]

基板处理系统、用于基板处理系统的真空旋转模块以及用于操作基板处理系统的方法 [P].

T·伯格 ;

R·林德伯格 .

中国专利 :CN106165081A ,2016-11-23

[5]

容器处理系统和用于切换容器处理系统的操作的方法 [P].

沃尔夫冈·哈恩 ;

R·克莱恩 .

中国专利 :CN108290653B ,2018-07-17

[6]

衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法 [P].

罗伟易 ;

洪延姬 ;

钟伟武 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN112868084B ,2024-04-26

[7]

排放处理系统及操作排放处理系统的方法 [P].

R·克劳福德 ;

J·道格拉斯 .

中国专利 :CN108775267B ,2018-11-09

[8]

用于操作容器处理系统的方法和具有优化参数的容器处理系统 [P].

M·奥伯迈尔 ;

托马斯·菲利普 ;

D·拉扎 ;

D·沃格勒 ;

M·哈勒尔 .

中国专利 :CN112632713A ,2021-04-09

[9]

用于操作容器处理系统的方法和具有优化参数的容器处理系统 [P].

M·奥伯迈尔 ;

托马斯·菲利普 ;

D·拉扎 ;

D·沃格勒 ;

M·哈勒尔 .

德国专利 :CN112632713B ,2024-07-05

[10]

流再处理系统以及用于操作流再处理系统的方法 [P].

杨政烨 ;

边柱元 ;

全圣浩 ;

郑憿援 .

中国专利 :CN115408331A ,2022-11-29

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