衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980068370.X

申请日：

2019-08-08

公开(公告)号：

CN112868084B

公开(公告)日：

2024-04-26

发明(设计)人：

罗伟易洪延姬钟伟武希曼舒·乔克斯

申请人：

朗姆研究公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/3065

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;张华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-26	授权	授权

共 50 条

[1]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN101042540A ,2007-09-26

[2]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN1316572C ,2004-03-10

[3]

衬底处理系统 [P].

经常友 ;

本尼·吴 ;

亚历山大·米赫宁科 ;

斯洛博丹·米特罗维奇 .

美国专利 :CN114175208B ,2024-05-24

[4]

衬底处理系统 [P].

J·T·穆拉 ;

R·T·卡夫尼 .

美国专利 :CN118661248A ,2024-09-17

[5]

衬底处理系统和使用该衬底处理系统的衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN119275128A ,2025-01-07

[6]

衬底处理系统,和衬底处理方法 [P].

郭信生 ;

王开安 .

中国专利 :CN102122599A ,2011-07-13

[7]

衬底处理方法、衬底处理系统 [P].

山田善章 ;

山口忠之 ;

山本雄一 ;

杂贺康仁 ;

泽井和夫 .

中国专利 :CN101496140B ,2009-07-29

[8]

衬底处理方法和衬底处理系统 [P].

山本雄一 .

中国专利 :CN101536151B ,2009-09-16

[9]

衬底处理系统 [P].

金成弼 ;

金成铉 .

韩国专利 :CN121192031A ,2025-12-23

[10]

衬底处理方法、衬底处理系统及衬底处理设备 [P].

茂森和士 ;

金山幸司 ;

金冈雅 ;

宫城聪 ;

安田周一 .

中国专利 :CN100470719C ,2007-07-04

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