衬底处理系统和衬底处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03152692.6

申请日：

2003-06-26

公开(公告)号：

CN1316572C

公开(公告)日：

2004-03-10

发明(设计)人：

长野泰博伊藤规宏

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

B08B500 B08B300

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

蔡民军

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-08-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-05-16	授权	授权
2014-08-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101584473780 IPC(主分类):H01L 21/306 专利号:ZL031526926 申请日:20030626 授权公告日:20070516 终止日期:20130626
2004-03-10	公开	公开

共 50 条

[1]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN101042540A ,2007-09-26

[2]

衬底处理系统,和衬底处理方法 [P].

郭信生 ;

王开安 .

中国专利 :CN102122599A ,2011-07-13

[3]

衬底处理方法和衬底处理系统 [P].

山本雄一 .

中国专利 :CN101536151B ,2009-09-16

[4]

衬底处理方法、衬底处理系统 [P].

山田善章 ;

山口忠之 ;

山本雄一 ;

杂贺康仁 ;

泽井和夫 .

中国专利 :CN101496140B ,2009-07-29

[5]

衬底处理方法、衬底处理系统及衬底处理设备 [P].

茂森和士 ;

金山幸司 ;

金冈雅 ;

宫城聪 ;

安田周一 .

中国专利 :CN100470719C ,2007-07-04

[6]

衬底处理系统和使用该衬底处理系统的衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN119275128A ,2025-01-07

[7]

衬底处理装置及衬底处理系统 [P].

墨周武 .

日本专利 :CN113205990B ,2025-05-13

[8]

衬底处理装置及衬底处理系统 [P].

墨周武 .

中国专利 :CN113205990A ,2021-08-03

[9]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

村元僚 ;

石井淳一 ;

西田崇之 .

日本专利 :CN114446821B ,2025-07-29

[10]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 ;

本庄一大 .

日本专利 :CN114695184B ,2025-12-12

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