衬底处理系统及衬底处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111260510.9

申请日：

2021-10-28

公开(公告)号：

CN114446821B

公开(公告)日：

2025-07-29

发明(设计)人：

石井弘晃村元僚石井淳一西田崇之

申请人：

株式会社斯库林集团

申请人地址：

日本京都

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/687

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

陈甜甜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

村元僚 ;

石井淳一 ;

西田崇之 .

中国专利 :CN114446821A ,2022-05-06

[2]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 ;

本庄一大 .

日本专利 :CN114695184B ,2025-12-12

[3]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 ;

本庄一大 .

中国专利 :CN114695184A ,2022-07-01

[4]

衬底处理方法、衬底处理系统及衬底处理设备 [P].

茂森和士 ;

金山幸司 ;

金冈雅 ;

宫城聪 ;

安田周一 .

中国专利 :CN100470719C ,2007-07-04

[5]

衬底处理方法、衬底处理系统 [P].

山田善章 ;

山口忠之 ;

山本雄一 ;

杂贺康仁 ;

泽井和夫 .

中国专利 :CN101496140B ,2009-07-29

[6]

衬底处理装置及衬底处理系统 [P].

墨周武 .

日本专利 :CN113205990B ,2025-05-13

[7]

衬底处理装置及衬底处理系统 [P].

墨周武 .

中国专利 :CN113205990A ,2021-08-03

[8]

衬底处理系统,和衬底处理方法 [P].

郭信生 ;

王开安 .

中国专利 :CN102122599A ,2011-07-13

[9]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN101042540A ,2007-09-26

[10]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN1316572C ,2004-03-10

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