衬底处理系统,和衬底处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010000295.4

申请日：

2010-01-08

公开(公告)号：

CN102122599A

公开(公告)日：

2011-07-13

发明(设计)人：

郭信生王开安

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200

代理人：

余长江

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101701825874 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010100002954 申请公布日:20110713
2011-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101143509411 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2010100002954 申请日:20100108
2011-07-13	公开	公开

共 50 条

[1]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN101042540A ,2007-09-26

[2]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN1316572C ,2004-03-10

[3]

衬底处理方法和衬底处理系统 [P].

山本雄一 .

中国专利 :CN101536151B ,2009-09-16

[4]

衬底处理方法、衬底处理系统 [P].

山田善章 ;

山口忠之 ;

山本雄一 ;

杂贺康仁 ;

泽井和夫 .

中国专利 :CN101496140B ,2009-07-29

[5]

衬底处理方法、衬底处理系统及衬底处理设备 [P].

茂森和士 ;

金山幸司 ;

金冈雅 ;

宫城聪 ;

安田周一 .

中国专利 :CN100470719C ,2007-07-04

[6]

衬底处理系统和使用该衬底处理系统的衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN119275128A ,2025-01-07

[7]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

村元僚 ;

石井淳一 ;

西田崇之 .

日本专利 :CN114446821B ,2025-07-29

[8]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 ;

本庄一大 .

日本专利 :CN114695184B ,2025-12-12

[9]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 ;

本庄一大 .

中国专利 :CN114695184A ,2022-07-01

[10]

衬底处理系统及衬底处理方法 [P].

石井弘晃 ;

村元僚 ;

石井淳一 ;

西田崇之 .

中国专利 :CN114446821A ,2022-05-06

← 1 2 3 4 5 →