衬底处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080053761.7

申请日：

2020-07-21

公开(公告)号：

CN114175208B

公开(公告)日：

2024-05-24

发明(设计)人：

经常友本尼·吴亚历山大·米赫宁科斯洛博丹·米特罗维奇

申请人：

朗姆研究公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;张静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-24	授权	授权

共 50 条

[1]

衬底处理系统中非均匀性的原位实时感测和补偿 [P].

经常友 ;

本尼·吴 ;

亚历山大·米赫宁科 ;

斯洛博丹·米特罗维奇 .

美国专利 :CN118588527A ,2024-09-03

[2]

衬底处理系统中非均匀性的原位实时感测和补偿 [P].

经常友 ;

本尼·吴 ;

亚历山大·米赫宁科 ;

斯洛博丹·米特罗维奇 .

中国专利 :CN114175208A ,2022-03-11

[3]

衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法 [P].

罗伟易 ;

洪延姬 ;

钟伟武 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN112868084B ,2024-04-26

[4]

衬底处理方法、衬底处理系统 [P].

山田善章 ;

山口忠之 ;

山本雄一 ;

杂贺康仁 ;

泽井和夫 .

中国专利 :CN101496140B ,2009-07-29

[5]

衬底处理系统 [P].

姜盛晧 ;

金苍乭 ;

崔圭镐 .

中国专利 :CN110444500A ,2019-11-12

[6]

衬底处理系统 [P].

岩崎旭纮 ;

谷口进一 .

日本专利 :CN119208187A ,2024-12-27

[7]

衬底处理系统 [P].

岩崎旭纮 ;

冨田毅 ;

谷口进一 .

日本专利 :CN119230447A ,2024-12-31

[8]

衬底处理方法、衬底处理系统及衬底处理设备 [P].

茂森和士 ;

金山幸司 ;

金冈雅 ;

宫城聪 ;

安田周一 .

中国专利 :CN100470719C ,2007-07-04

[9]

衬底处理系统 [P].

金基相 ;

安太赫 ;

朴东健 ;

李上源 ;

金俸先 .

中国专利 :CN102646613A ,2012-08-22

[10]

衬底处理系统 [P].

田上真也 ;

林诚 ;

坂田富裕 .

中国专利 :CN1249776C ,2003-06-25

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