衬底处理系统中非均匀性的原位实时感测和补偿

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080053761.7

申请日：

2020-07-21

公开(公告)号：

CN114175208A

公开(公告)日：

2022-03-11

发明(设计)人：

经常友本尼·吴亚历山大·米赫宁科斯洛博丹·米特罗维奇

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;张静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-11	公开	公开
2022-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20200721

共 50 条

[1]

衬底处理系统中非均匀性的原位实时感测和补偿 [P].

经常友 ;

本尼·吴 ;

亚历山大·米赫宁科 ;

斯洛博丹·米特罗维奇 .

美国专利 :CN118588527A ,2024-09-03

[2]

衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法 [P].

罗伟易 ;

洪延姬 ;

钟伟武 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN112868084B ,2024-04-26

[3]

衬底处理系统和使用该衬底处理系统的衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN119275128A ,2025-01-07

[4]

原位检测衬底处理系统的衬底区域中的氧的系统和方法 [P].

杨邓良 ;

伊利亚·卡利诺夫斯基 ;

方浩全 ;

大卫·张 .

中国专利 :CN107941757A ,2018-04-20

[5]

衬底处理系统,和衬底处理方法 [P].

郭信生 ;

王开安 .

中国专利 :CN102122599A ,2011-07-13

[6]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN101042540A ,2007-09-26

[7]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN1316572C ,2004-03-10

[8]

衬底处理方法和衬底处理系统 [P].

山本雄一 .

中国专利 :CN101536151B ,2009-09-16

[9]

衬底处理系统、衬底处理装置和衬底处理装置的显示方法 [P].

浅井一秀 .

中国专利 :CN102569124A ,2012-07-11

[10]

衬底处理系统、用于衬底处理系统的喷头和喷头组件 [P].

伊莱·乔恩 ;

丹尼尔·博特赖特 ;

菲利普·陈 ;

德博托什·波德达尔 ;

凯尔·瓦特·哈特 ;

道格拉斯·沃尔特·阿格纽 ;

卡什亚普·苏布拉马尼亚 .

中国专利 :CN218146933U ,2022-12-27

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