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衬底处理系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910260988.8
申请日：
2019-04-02
公开(公告)号：
CN110444500A
公开(公告)日：
2019-11-12
发明(设计)人：
姜盛晧
金苍乭
崔圭镐
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道龙仁市处仁区阳智面秋溪路42
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
杨文娟;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-12 | 公开 | 公开 |
| 2019-12-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20190402 |