衬底处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510831116.8

申请日：

2025-06-20

公开(公告)号：

CN121192031A

公开(公告)日：

2025-12-23

发明(设计)人：

金成弼金成铉

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67 B08B5/04 B08B13/00

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

杨黎峰;刘烽

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-23	公开	公开

共 50 条

[1]

衬底处理方法、衬底处理系统及衬底处理设备 [P].

茂森和士 ;

金山幸司 ;

金冈雅 ;

宫城聪 ;

安田周一 .

中国专利 :CN100470719C ,2007-07-04

[2]

衬底处理系统 [P].

J·T·穆拉 ;

R·T·卡夫尼 .

美国专利 :CN118661248A ,2024-09-17

[3]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN101042540A ,2007-09-26

[4]

衬底处理系统和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 .

中国专利 :CN1316572C ,2004-03-10

[5]

衬底处理方法、衬底处理系统 [P].

山田善章 ;

山口忠之 ;

山本雄一 ;

杂贺康仁 ;

泽井和夫 .

中国专利 :CN101496140B ,2009-07-29

[6]

衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法 [P].

罗伟易 ;

洪延姬 ;

钟伟武 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN112868084B ,2024-04-26

[7]

衬底处理系统 [P].

姜盛晧 ;

金苍乭 ;

崔圭镐 .

中国专利 :CN110444500A ,2019-11-12

[8]

衬底处理系统 [P].

经常友 ;

本尼·吴 ;

亚历山大·米赫宁科 ;

斯洛博丹·米特罗维奇 .

美国专利 :CN114175208B ,2024-05-24

[9]

衬底处理系统 [P].

岩崎旭纮 ;

谷口进一 .

日本专利 :CN119208187A ,2024-12-27

[10]

衬底处理系统 [P].

岩崎旭纮 ;

冨田毅 ;

谷口进一 .

日本专利 :CN119230447A ,2024-12-31

← 1 2 3 4 5 →