一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220342577.7

申请日：

2012-07-16

公开(公告)号：

CN202730222U

公开(公告)日：

2013-02-13

发明(设计)人：

周文彬刘幼海刘吉人

申请人：

申请人地址：

201707 上海市青浦区北青公路8228号三区8号4幢

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101623260608 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL2012203425777 申请日:20120716 授权公告日:20130213 终止日期:20140716
2013-02-13	授权	授权

共 50 条

[1]

磁控溅射设备用冷却铜背板 [P].

张庆宝 ;

薛俊明 ;

高建军 ;

李顺军 ;

杜国杰 .

中国专利 :CN205911283U ,2017-01-25

[2]

一种磁控溅射设备的阴极冷却装置 [P].

杨继泽 ;

刘万学 ;

张兵 ;

王巍 ;

程明辉 ;

左腾 ;

徐柏章 ;

曲爽 .

中国专利 :CN201530858U ,2010-07-21

[3]

一种靶材冷却背板及磁控溅射镀膜设备 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

龚祖光 .

中国专利 :CN212925153U ,2021-04-09

[4]

一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板 [P].

任文斌 ;

代绍明 .

中国专利 :CN223189248U ,2025-08-05

[5]

一种新型磁控溅射设备用冷却铜背板 [P].

臧龙杰 ;

周俊荣 ;

齐东淼 ;

沈雷振 ;

曾静 .

中国专利 :CN215440667U ,2022-01-07

[6]

一种冷却装置及电极冷却装置 [P].

曹柏青 ;

谢宗承 ;

谢卓函 ;

喻克洪 ;

邓小军 ;

王兴明 ;

杨彦斌 ;

钟琳娜 ;

王孙富 .

中国专利 :CN211509333U ,2020-09-15

[7]

溅射镍靶材生产中的冷却装置 [P].

王嗣杰 .

中国专利 :CN205295448U ,2016-06-08

[8]

一种电极冷却装置 [P].

黎应和 ;

胡凤高 .

中国专利 :CN223726863U ,2025-12-26

[9]

一种再生铜阳极冷却装置 [P].

李银丽 ;

王源瑞 ;

陈向东 ;

李彦龙 ;

鲁兴武 ;

程亮 ;

李俞良 ;

何乃勇 ;

王宏伟 ;

李守荣 ;

刘瑛鑫 .

中国专利 :CN221675800U ,2024-09-10

[10]

一种工业用冷却铜背板 [P].

松本光裕 .

中国专利 :CN214842714U ,2021-11-23

← 1 2 3 4 5 →