氮化钛化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310122127.6

申请日：

2013-04-09

公开(公告)号：

CN103194730A

公开(公告)日：

2013-07-10

发明(设计)人：

周军

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16458

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-10	公开	公开
2013-08-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101503526220 IPC(主分类):C23C 16/34 专利申请号:2013101221276 申请日:20130409
2016-01-20	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101726849301 IPC(主分类):C23C 16/34 专利申请号:2013101221276 申请公布日:20130710

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备 [P].

金宰湖 ;

朴相俊 .

中国专利 :CN1302152C ,2002-10-23

[2]

化学气相沉积设备 [P].

陈五奎 ;

任陈平 ;

李文江 .

中国专利 :CN301589889S ,2011-06-22

[3]

化学气相沉积设备 [P].

赵仰政 .

中国专利 :CN306403676S ,2021-03-23

[4]

化学气相沉积设备 [P].

龙梅丽 .

中国专利 :CN223016962U ,2025-06-24

[5]

化学气相沉积设备 [P].

徐丰 ;

邓铁夫 .

中国专利 :CN307791510S ,2023-01-13

[6]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN222923231U ,2025-05-30

[7]

化学气相沉积设备 [P].

金宰湖 ;

朴相俊 .

中国专利 :CN100540734C ,2006-10-18

[8]

化学气相沉积载台结构及化学气相沉积设备 [P].

朱合意 ;

贾钊 ;

窦志珍 ;

胡恒广 .

中国专利 :CN222524669U ,2025-02-25

[9]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[10]

用于化学气相沉积设备的基座组件及化学气相沉积设备 [P].

汪国元 ;

代宇通 ;

姜勇 ;

郭世平 .

中国专利 :CN222139265U ,2024-12-10

← 1 2 3 4 5 →