氧化物薄膜晶体管及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510383485.1

申请日：

2015-07-02

公开(公告)号：

CN104966739A

公开(公告)日：

2015-10-07

发明(设计)人：

王质武

申请人：

申请人地址：

518006 广东省深圳市光明新区公明办事处塘家社区观光路汇业科技园综合楼1第一层B区

IPC主分类号：

H01L29786

IPC分类号：

H01L21336 C23C1435

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

何青瓦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101632844219 IPC(主分类):H01L 29/786 专利申请号:2015103834851 申请日:20150702
2015-10-07	公开	公开
2019-04-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 29/786 申请公布日:20151007

共 50 条

[1]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

迟世鹏 .

中国专利 :CN104617152A ,2015-05-13

[2]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

孙博 .

中国专利 :CN105355664A ,2016-02-24

[3]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

陈晓威 .

中国专利 :CN111477687A ,2020-07-31

[4]

金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

何佳新 .

中国专利 :CN112420849B ,2024-08-20

[5]

金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法 [P].

何佳新 .

中国专利 :CN112420849A ,2021-02-26

[6]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板 [P].

赵舒宁 ;

卓毅 .

中国专利 :CN112420848B ,2021-02-26

[7]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板 [P].

刘翔 .

中国专利 :CN104681626A ,2015-06-03

[8]

氧化物薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板 [P].

宁策 .

中国专利 :CN108206139B ,2018-06-26

[9]

氧化物薄膜晶体管及其制造方法 [P].

黄梦 ;

文国哲 .

中国专利 :CN108288650B ,2018-07-17

[10]

氧化物薄膜晶体管及其制备方法 [P].

陈闯 ;

顾维杰 ;

李俊峰 ;

张振宇 .

中国专利 :CN111540787A ,2020-08-14

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