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基板处理装置、基板处理系统、及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680043042.0
申请日：
2016-07-06
公开(公告)号：
CN107851570A
公开(公告)日：
2018-03-27
发明(设计)人：
小畠严贵
八木圭太
盐川阳一
申请人：
申请人地址：
日本东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
H01L21306
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
张丽颖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-03-27 | 公开 | 公开 |
| 2018-04-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20160706 |
| 2021-10-01 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/304 申请公布日:20180327 |