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原子层沉积设备
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN201730600323.9
申请日：
2017-11-30
公开(公告)号：
CN304842776S
公开(公告)日：
2018-10-09
发明(设计)人：
杭天华
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新区行创四路7号
IPC主分类号：
1599
IPC分类号：
代理机构：
南京知识律师事务所 32207
代理人：
朱少华
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-04-10 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 主分类号:15-99 变更事项:专利权人 变更前:江苏微导纳米装备科技有限公司 变更后:江苏微导纳米科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:214028 江苏省无锡市新区行创四路7号 变更后:214028 江苏省无锡市新吴区漓江路11号 |
| 2018-10-09 | 授权 | 授权 |