原子层沉积设备

被引：0

申请号：

CN202230485482.X

申请日：

2022-07-28

公开(公告)号：

CN307799110S

公开(公告)日：

2023-01-17

发明(设计)人：

赵茂生雷志佳

申请人：

申请人地址：

361000 福建省厦门市软件园三期集美大道1300号创新大厦6楼之四十一

IPC主分类号：

1599

IPC分类号：

代理机构：

厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222

代理人：

王玮婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

原子层沉积设备 [P].

刘东 ;

魏景峰 ;

李一吾 ;

龙睿芬 .

中国专利 :CN302857420S ,2014-06-25

[2]

原子层沉积设备 [P].

杭天华 .

中国专利 :CN304842776S ,2018-10-09

[3]

原子层沉积设备 [P].

杭天华 .

中国专利 :CN304488554S ,2018-02-02

[4]

原子层沉积设备 [P].

王彦涛 ;

何闻振 ;

肖蕴章 ;

陈炳安 ;

钟国仿 .

中国专利 :CN308788535S ,2024-08-16

[5]

原子层沉积设备 [P].

李丙科 .

中国专利 :CN305337477S ,2019-09-06

[6]

原子层沉积设备 [P].

陈蓉 ;

闫占奎 ;

刘潇 ;

单斌 .

中国专利 :CN306012252S ,2020-08-25

[7]

原子层沉积设备 [P].

屈芙蓉 ;

刘传钦 ;

夏洋 ;

李超波 .

中国专利 :CN302072349S ,2012-09-12

[8]

原子层沉积设备 [P].

王彦涛 ;

赵宝鑫 ;

胡雄武 ;

杨承枪 ;

陈炳安 ;

钟国仿 .

中国专利 :CN309499083S ,2025-09-16

[9]

原子层沉积设备 [P].

李志方 .

中国专利 :CN309188863S ,2025-03-21

[10]

原子层沉积设备机柜 [P].

逯文冬 ;

耿晨宇 ;

郑锦 ;

黄省三 .

中国专利 :CN305679664S ,2020-04-03

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