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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-02 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/40 申请日:20110607 授权公告日:20150121 终止日期:20190607 |
| 2013-05-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101451561143 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2011800283077 申请日:20110607 |
| 2013-02-13 | 公开 | 公开 |
| 2015-01-21 | 授权 | 授权 |