低温多晶硅薄膜及其制备方法、薄膜晶体管和显示装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310722877.7

申请日：

2013-12-24

公开(公告)号：

CN103681776B

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

张慧娟

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

H01L2904

IPC分类号：

H01L29786 H01L2102 H01L21336

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

黄志华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-26	公开	公开
2017-11-07	授权	授权
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581690423 IPC(主分类):H01L 29/04 专利申请号:2013107228777 申请日:20131224

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

刘玉成 ;

朱涛 ;

顾维杰 .

中国专利 :CN104362084A ,2015-02-18

[2]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、薄膜晶体管和显示面板 [P].

杨昕 .

中国专利 :CN106847675B ,2017-06-13

[3]

低温多晶硅薄膜及其制作方法、薄膜晶体管、显示装置 [P].

田雪雁 .

中国专利 :CN108461390B ,2018-08-28

[4]

低温多晶硅薄膜的制备方法、薄膜晶体管和显示装置 [P].

王磊 ;

田雪雁 ;

任章淳 .

中国专利 :CN103489788A ,2014-01-01

[5]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、薄膜晶体管和显示面板 [P].

方维君 ;

陈卓 ;

刘伟 ;

李伟界 .

中国专利 :CN114068303A ,2022-02-18

[6]

低温多晶硅薄膜的制备方法、薄膜晶体管及显示装置 [P].

牛亚男 ;

刘超 ;

贺增胜 ;

陈蕾 ;

张玉军 .

中国专利 :CN104658891B ,2015-05-27

[7]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、以及薄膜晶体管 [P].

陈卓 ;

陈建荣 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN104966663B ,2015-10-07

[8]

低温多晶硅薄膜、薄膜晶体管及各自制备方法、显示装置 [P].

李栋 ;

陆小勇 ;

李小龙 ;

刘政 ;

张帅 ;

詹裕程 ;

刘建宏 ;

龙春平 .

中国专利 :CN105097453A ,2015-11-25

[9]

低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN2717021Y ,2005-08-10

[10]

低温多晶硅薄膜及薄膜晶体管的制备方法、以及薄膜晶体管 [P].

陈卓 ;

陈建荣 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN105355544A ,2016-02-24

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