基板清洗方法及基板清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980121060.6

申请日：

2009-07-17

公开(公告)号：

CN102057468A

公开(公告)日：

2011-05-11

发明(设计)人：

佐藤雅伸

申请人：

申请人地址：

日本国京都府

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

郭晓东;马少东

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713094003 IPC(主分类):H01L 21/304 专利号:ZL2009801210606 变更事项:专利权人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本国京都府变更后:日本国京都府
2011-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101081912422 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2009801210606 申请日:20090717
2013-01-16	授权	授权
2011-05-11	公开	公开

共 50 条

[1]

基板清洗方法及基板清洗装置 [P].

日野出大辉 ;

逸见昂史 ;

太田乔 ;

中西恭平 ;

中泽和彦 .

中国专利 :CN114649193A ,2022-06-21

[2]

基板清洗方法及基板清洗装置 [P].

日野出大辉 ;

逸见昂史 ;

太田乔 ;

中西恭平 ;

中泽和彦 .

日本专利 :CN114649193B ,2025-02-28

[3]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

圆山洋介 .

中国专利 :CN115083947A ,2022-09-20

[4]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN104275317B ,2015-01-14

[5]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

樋口晃一 ;

林航之介 .

日本专利 :CN119673805A ,2025-03-21

[6]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

丰增富士彦 ;

丸山徹 ;

小松三教 .

中国专利 :CN103817103B ,2014-05-28

[7]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

田中孝佳 ;

宫城雅宏 .

中国专利 :CN101373706A ,2009-02-25

[8]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

高桥拓马 ;

筱原智之 ;

石井淳一 ;

中村一树 ;

筱原敬 ;

冲田展彬 ;

冈田吉文 .

日本专利 :CN117730400A ,2024-03-19

[9]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

帆角良平 ;

田中克典 ;

矢野航 .

日本专利 :CN119585845A ,2025-03-07

[10]

基板清洗方法 [P].

佐藤雅伸 .

中国专利 :CN103021810B ,2013-04-03

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