共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板清洗装置及基板清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411248348.2
申请日：
2024-09-06
公开(公告)号：
CN119673805A
公开(公告)日：
2025-03-21
发明(设计)人：
樋口晃一
林航之介
申请人：
芝浦机械电子株式会社
申请人地址：
日本神奈川县横浜市荣区笠间二丁目5番1号(邮递区号:247-8610)
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/02
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
马雯雯;黄健
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240906 |
| 2025-03-21 | 公开 | 公开 |