喷淋蚀刻装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680038962.3

申请日：

2016-05-20

公开(公告)号：

CN107710389A

公开(公告)日：

2018-02-16

发明(设计)人：

竹内一马水谷龙也林田哲夫

申请人：

申请人地址：

日本国大阪府丰中市利仓1丁目1番1号

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

代理机构：

北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444

代理人：

龚敏;王刚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/306 申请日:20160520
2018-02-16	公开	公开
2021-10-26	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻喷淋装置 [P].

杨府 .

中国专利 :CN203896601U ,2014-10-22

[2]

喷淋系统以及蚀刻装置 [P].

窦福存 ;

蒋新 ;

施利君 .

中国专利 :CN221304596U ,2024-07-09

[3]

新型蚀刻液喷淋装置 [P].

张海波 ;

薛雄师 .

中国专利 :CN204906874U ,2015-12-23

[4]

喷淋蚀刻机 [P].

蒲中军 ;

邓飞 ;

徐晓君 ;

王川 ;

吴永寿 ;

宣继 ;

李政昊 ;

王月利 ;

钟耀 ;

邓欢 .

中国专利 :CN104445969A ,2015-03-25

[5]

喷淋蚀刻系统 [P].

王秋旺 ;

辛菲 ;

马挺 ;

李雄辉 ;

邓天瑞 .

中国专利 :CN108034946B ,2018-05-15

[6]

喷淋蚀刻机 [P].

蒲中军 ;

邓飞 ;

徐晓君 ;

王川 ;

吴永寿 ;

宣继 ;

李政昊 ;

王月利 ;

钟耀 ;

邓欢 .

中国专利 :CN204174097U ,2015-02-25

[7]

喷淋蚀刻机 [P].

顾叶锋 ;

王娟 ;

吴蕴瑶 .

中国专利 :CN214937812U ,2021-11-30

[8]

一种喷淋蚀刻机CST间隔玻璃基板装置 [P].

闫小雷 ;

唐朝晖 .

中国专利 :CN210796232U ,2020-06-19

[9]

一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架 [P].

陈富强 ;

陈发强 .

中国专利 :CN115537814A ,2022-12-30

[10]

一种喷淋蚀刻实验装置 [P].

张本汉 ;

许永章 ;

陈金明 ;

邓世权 .

中国专利 :CN204490996U ,2015-07-22

← 1 2 3 4 5 →