采用电弧加热靶材蒸积制备大面积薄膜的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN02293461.8

申请日：

2002-12-24

公开(公告)号：

CN2585870Y

公开(公告)日：

2003-11-12

发明(设计)人：

刘震周岳亮朱亚彬王淑芳陈正豪吕惠宾杨国桢

申请人：

申请人地址：

100080北京市海淀区中关村南三街8号

IPC主分类号：

C23C1438

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

王凤华

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-02-14	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2007-07-25	其他有关事项避免重复授权放弃专利权	其他有关事项避免重复授权放弃专利权放弃生效日:20021224
2003-11-12	授权	授权

共 50 条

[1]

利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置 [P].

刘震 ;

周岳亮 ;

朱亚彬 ;

王淑芳 ;

陈正豪 ;

吕惠宾 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN2585869Y ,2003-11-12

[2]

一种热蒸积制备大面积薄膜的方法和装置 [P].

刘震 ;

周岳亮 ;

朱亚彬 ;

王淑芳 ;

陈正豪 ;

吕惠宾 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN1510161A ,2004-07-07

[3]

一种用于制备大面积薄膜的加热装置 [P].

何萌 ;

周岳亮 ;

许加迪 ;

陈正豪 .

中国专利 :CN2456435Y ,2001-10-24

[4]

采用涡流加热靶材的共蒸发制备薄膜的装置 [P].

刘震 ;

周岳亮 ;

朱亚彬 ;

王淑芳 ;

陈正豪 ;

吕惠宾 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN2585868Y ,2003-11-12

[5]

一种用于制备大面积薄膜的自动旋转加热装置 [P].

何萌 ;

周岳亮 ;

陈正豪 ;

崔大复 ;

许加迪 ;

王淑芳 ;

吕惠宾 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN2475740Y ,2002-02-06

[6]

一种用于柔性衬底大面积薄膜制备的真空热蒸镀设备 [P].

江潮 ;

王秋来 ;

刘双 .

中国专利 :CN201372308Y ,2009-12-30

[7]

一种热蒸发制备大面积薄膜的方法与装置 [P].

刘震 ;

周岳亮 ;

朱亚彬 ;

王淑芳 ;

陈正豪 ;

吕惠宾 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN1510159A ,2004-07-07

[8]

脉冲激光沉积大面积薄膜的装置 [P].

王又青 .

中国专利 :CN2415041Y ,2001-01-17

[9]

大面积靶材矫平后翘曲度测量装置 [P].

张学文 ;

胡清熊 ;

祝永华 ;

黄岩 .

中国专利 :CN207717009U ,2018-08-10

[10]

大面积钙钛矿薄膜的制备设备 [P].

丁建宁 ;

王书博 ;

袁宁一 ;

贾旭光 .

中国专利 :CN206680573U ,2017-11-28

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