利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN02293462.6

申请日：

2002-12-24

公开(公告)号：

CN2585869Y

公开(公告)日：

2003-11-12

发明(设计)人：

刘震周岳亮朱亚彬王淑芳陈正豪吕惠宾杨国桢

申请人：

申请人地址：

100080北京市海淀区中关村南三街8号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

王凤华

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-02-14	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2007-09-05	其他有关事项避免重复授权放弃专利权	其他有关事项避免重复授权放弃专利权放弃生效日:20021224
2003-11-12	授权	授权

共 28 条

[1]

采用电弧加热靶材蒸积制备大面积薄膜的装置 [P].

刘震 ;

周岳亮 ;

朱亚彬 ;

王淑芳 ;

陈正豪 ;

吕惠宾 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN2585870Y ,2003-11-12

[2]

一种热蒸发制备大面积薄膜的方法与装置 [P].

刘震 ;

周岳亮 ;

朱亚彬 ;

王淑芳 ;

陈正豪 ;

吕惠宾 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN1510159A ,2004-07-07

[3]

一种用于制备大面积薄膜的加热装置 [P].

何萌 ;

周岳亮 ;

许加迪 ;

陈正豪 .

中国专利 :CN2456435Y ,2001-10-24

[4]

一种用于制备大面积薄膜的自动旋转加热装置 [P].

何萌 ;

周岳亮 ;

陈正豪 ;

崔大复 ;

许加迪 ;

王淑芳 ;

吕惠宾 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN2475740Y ,2002-02-06

[5]

一种大面积靶材与背板的快速焊接方法 [P].

范亮 ;

何金江 ;

江轩 ;

熊晓东 ;

廖赞 ;

刘书芹 ;

朱晓光 .

中国专利 :CN101745734A ,2010-06-23

[6]

脉冲激光沉积大面积薄膜的装置 [P].

王又青 .

中国专利 :CN2415041Y ,2001-01-17

[7]

一种热蒸积制备大面积薄膜的方法和装置 [P].

刘震 ;

周岳亮 ;

朱亚彬 ;

王淑芳 ;

陈正豪 ;

吕惠宾 ;

杨国桢 .

中国专利 :CN1510161A ,2004-07-07

[8]

一种大面积薄膜的制备方法及其应用 [P].

李雄 ;

李敏 ;

郭瑞 ;

尤帅 ;

刘然然 ;

梁航 .

中国专利 :CN113161485A ,2021-07-23

[9]

一种利用小靶材实现大面积脉冲激光沉积镀膜的方法 [P].

成龙 ;

赵爱迪 ;

范海洋 ;

翟晓芳 .

中国专利 :CN120006220A ,2025-05-16

[10]

一种大面积薄膜的可控制备装置及方法 [P].

王跃 ;

李雪松 ;

青芳竹 .

中国专利 :CN110408911A ,2019-11-05