激光退火装置和激光退火方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510348729.2

申请日：

2015-06-23

公开(公告)号：

CN104979247B

公开(公告)日：

2015-10-14

发明(设计)人：

姚江波

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21268

代理机构：

北京聿宏知识产权代理有限公司 11372

代理人：

吴大建;刘华联

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-12	授权	授权
2015-10-14	公开	公开
2015-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633319206 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015103487292 申请日:20150623

共 50 条

[1]

激光退火设备和激光退火方法 [P].

吕祖彬 ;

张宇 ;

谢璞 ;

谢银 .

中国专利 :CN107492515A ,2017-12-19

[2]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN104272434B ,2015-01-07

[3]

激光退火方法以及激光退火装置 [P].

西田健一郎 ;

川上隆介 ;

河口纪仁 ;

正木深雪 .

中国专利 :CN101356624B ,2009-01-28

[4]

激光退火装置、激光退火方法及激光退火程序 [P].

万雅史 ;

冈田康弘 .

日本专利 :CN119522471A ,2025-02-25

[5]

激光退火装置及激光退火工艺 [P].

曹义昌 ;

吴焕照 ;

林武雄 ;

林文章 .

中国专利 :CN1564312A ,2005-01-12

[6]

激光退火装置和激光退火方法 [P].

中川英俊 .

中国专利 :CN109997213A ,2019-07-09

[7]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

工藤　利雄 ;

小林　直之 ;

佐野　一也 ;

清野　俊明 ;

丰田　充启 .

中国专利 :CN102668039A ,2012-09-12

[8]

激光退火方法以及激光退火装置 [P].

河口纪仁 ;

川上隆介 ;

西田健一郎 ;

M正木 ;

森田胜 ;

芳之内淳 .

中国专利 :CN102057467A ,2011-05-11

[9]

激光退火方法及激光退火装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN113261077A ,2021-08-13

[10]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

小杉纯一 ;

杨映保 .

中国专利 :CN112447506A ,2021-03-05

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