共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
激光退火装置、激光退火方法及激光退火程序
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380052595.2
申请日：
2023-06-14
公开(公告)号：
CN119522471A
公开(公告)日：
2025-02-25
发明(设计)人：
万雅史
冈田康弘
申请人：
住友重机械工业株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21/265
IPC分类号：
B23K26/354
H01L21/268
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
郝传鑫
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/265申请日:20230614 |
| 2025-02-25 | 公开 | 公开 |