激光退火方法及激光退火装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180064681.2

申请日：

2011-11-16

公开(公告)号：

CN103339712A

公开(公告)日：

2013-10-02

发明(设计)人：

樱木进

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21265

IPC分类号：

H01L21268

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

温旭;郝传鑫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-03	授权	授权
2013-10-02	公开	公开
2013-11-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101535523602 IPC(主分类):H01L 21/265 专利申请号:2011800646812 申请日:20111116

共 50 条

[1]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

工藤　利雄 ;

小林　直之 ;

佐野　一也 ;

清野　俊明 ;

丰田　充启 .

中国专利 :CN102668039A ,2012-09-12

[2]

激光退火装置、激光退火方法及激光退火程序 [P].

万雅史 ;

冈田康弘 .

日本专利 :CN119522471A ,2025-02-25

[3]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

刘亚 ;

周伟 ;

李运锋 ;

苏海业 ;

罗闻 .

中国专利 :CN114388388A ,2022-04-22

[4]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

小杉纯一 ;

杨映保 .

中国专利 :CN112447506A ,2021-03-05

[5]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

水村通伸 ;

斋藤雄二 .

中国专利 :CN103262213A ,2013-08-21

[6]

激光退火方法及激光退火装置 [P].

若林直木 .

中国专利 :CN109075042A ,2018-12-21

[7]

激光退火方法及激光退火装置 [P].

本乡幹雄 ;

矢崎秋夫 ;

波多野睦子 .

中国专利 :CN1649081A ,2005-08-03

[8]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

郭善仁 ;

沈佩谊 ;

陈士元 ;

吴焕照 .

中国专利 :CN101034665A ,2007-09-12

[9]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

木下理裕 ;

杨映保 ;

鸟山诚也 ;

小杉纯一 ;

后藤顺 ;

泽井卓哉 .

中国专利 :CN118742994A ,2024-10-01

[10]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN110945627A ,2020-03-31

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