激光退火装置及激光退火方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710096161.5

申请日：

2007-04-13

公开(公告)号：

CN101034665A

公开(公告)日：

2007-09-12

发明(设计)人：

郭善仁沈佩谊陈士元吴焕照

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2120 H01L21268 H01L21336 H01L2184 B23K2600 B23K2606 G02B2709 G02B702

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司

代理人：

潘培坤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-03	授权	授权
2007-09-12	公开	公开
2007-11-07	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

激光退火装置及激光退火工艺 [P].

曹义昌 ;

吴焕照 ;

林武雄 ;

林文章 .

中国专利 :CN1564312A ,2005-01-12

[2]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

刘亚 ;

周伟 ;

李运锋 ;

苏海业 ;

罗闻 .

中国专利 :CN114388388A ,2022-04-22

[3]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

工藤　利雄 ;

小林　直之 ;

佐野　一也 ;

清野　俊明 ;

丰田　充启 .

中国专利 :CN102668039A ,2012-09-12

[4]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

城户淳二 .

中国专利 :CN106663611A ,2017-05-10

[5]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

小杉纯一 ;

杨映保 .

中国专利 :CN112447506A ,2021-03-05

[6]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

水村通伸 ;

斋藤雄二 .

中国专利 :CN103262213A ,2013-08-21

[7]

激光退火方法及激光退火装置 [P].

若林直木 .

中国专利 :CN109075042A ,2018-12-21

[8]

激光退火方法及激光退火装置 [P].

樱木进 .

中国专利 :CN103339712A ,2013-10-02

[9]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

木下理裕 ;

杨映保 ;

鸟山诚也 ;

小杉纯一 ;

后藤顺 ;

泽井卓哉 .

中国专利 :CN118742994A ,2024-10-01

[10]

激光退火装置及激光退火方法 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN110945627A ,2020-03-31

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