灰色调掩模的缺陷检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410033706.4

申请日：

2004-04-08

公开(公告)号：

CN1536440A

公开(公告)日：

2004-10-13

发明(设计)人：

池边寿美

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F108

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

李辉

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-10-13	公开	公开
2016-10-19	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101740316777 IPC(主分类):G03F 1/08 专利号:ZL2004100337064 变更事项:专利权人变更前:HOYA株式会社变更后:HOYA株式会社变更事项:地址变更前:日本东京变更后:日本东京都160-8347新宿区西新宿六丁目10番1号
2006-06-28	授权	授权
2004-12-29	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

灰色调掩模的缺陷检查方法和灰色调掩模的制造方法 [P].

池边寿美 .

中国专利 :CN1534365A ,2004-10-06

[2]

灰色调掩模的缺陷校正方法 [P].

中山宪治 .

中国专利 :CN1869810A ,2006-11-29

[3]

灰色调掩模的缺陷校正方法 [P].

中山宪治 .

中国专利 :CN1534366A ,2004-10-06

[4]

灰色调掩模的缺陷校正方法 [P].

中山宪治 .

中国专利 :CN1261818C ,2004-10-13

[5]

光掩模缺陷检查装置及光掩模缺陷检查方法 [P].

张旺 ;

徐佳 ;

宋晓辉 .

中国专利 :CN118425043B ,2025-01-21

[6]

光掩模缺陷检查装置及光掩模缺陷检查方法 [P].

张旺 ;

徐佳 ;

宋晓辉 .

中国专利 :CN118425043A ,2024-08-02

[7]

光掩模的缺陷检查方法以及光掩模 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN101025563A ,2007-08-29

[8]

灰调掩模的缺陷检查方法及缺陷检查装置 [P].

中山宪治 .

中国专利 :CN1401994A ,2003-03-12

[9]

波纹缺陷检查掩模、波纹缺陷检查装置及方法、以及光掩模的制造方法 [P].

村井诚 .

中国专利 :CN1702429A ,2005-11-30

[10]

掩模缺陷检查方法及其应用 [P].

山口真司 ;

井上壮一 ;

田中聪 ;

井上麻里 .

中国专利 :CN1244958C ,2004-04-14

← 1 2 3 4 5 →