灰色调掩模的缺陷检查方法和灰色调掩模的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410030983.X

申请日：

2004-04-01

公开(公告)号：

CN1534365A

公开(公告)日：

2004-10-06

发明(设计)人：

池边寿美

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G02F1136

IPC分类号：

H01L29786 H01L2100

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

李辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-10-06	公开	公开
2009-02-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回

共 50 条

[1]

灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN1721988A ,2006-01-18

[2]

灰色调掩模的缺陷检查方法 [P].

池边寿美 .

中国专利 :CN1536440A ,2004-10-13

[3]

灰色调掩模和薄膜晶体管基板的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN1837956A ,2006-09-27

[4]

半色调掩模和半色调掩模坯 [P].

齐藤隆史 .

中国专利 :CN107589630A ,2018-01-16

[5]

灰色调曝光用掩模、使用该掩模的TFT基板的制造方法和具有该TFT基板的液晶显示装置 [P].

樱井洋 .

中国专利 :CN101620374A ,2010-01-06

[6]

波纹缺陷检查掩模、波纹缺陷检查装置及方法、以及光掩模的制造方法 [P].

村井诚 .

中国专利 :CN1702429A ,2005-11-30

[7]

光掩模的缺陷检查方法以及光掩模 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN101025563A ,2007-08-29

[8]

半色调掩模板及其制作方法 [P].

崔承镇 ;

金基用 .

中国专利 :CN102103323A ,2011-06-22

[9]

光掩模缺陷检查装置及光掩模缺陷检查方法 [P].

张旺 ;

徐佳 ;

宋晓辉 .

中国专利 :CN118425043B ,2025-01-21

[10]

光掩模缺陷检查装置及光掩模缺陷检查方法 [P].

张旺 ;

徐佳 ;

宋晓辉 .

中国专利 :CN118425043A ,2024-08-02

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