灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510084068.3

申请日：

2005-07-12

公开(公告)号：

CN1721988A

公开(公告)日：

2006-01-18

发明(设计)人：

佐野道明

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F114

IPC分类号：

H01L2100 G02F11368

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

李辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-01-18	公开	公开
2009-11-25	授权	授权
2013-09-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101514746584 IPC(主分类):G03F 1/14 专利号:ZL2005100840683 申请日:20050712 授权公告日:20091125 终止日期:20120712
2006-07-19	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN101673049A ,2010-03-17

[2]

灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN1721960A ,2006-01-18

[3]

灰色调掩模的制造方法以及灰色调掩模 [P].

佐野道明 ;

早濑三千彦 .

中国专利 :CN101359168B ,2009-02-04

[4]

灰色调掩模 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN101833236A ,2010-09-15

[5]

灰色调掩模的制造方法和灰色调掩模以及图案转印方法 [P].

佐野道明 ;

井村和久 ;

三井胜 .

中国专利 :CN101408725A ,2009-04-15

[6]

灰色调掩模的缺陷检查方法和灰色调掩模的制造方法 [P].

池边寿美 .

中国专利 :CN1534365A ,2004-10-06

[7]

灰色调掩模的缺陷修正方法与灰色调掩模 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN101025565B ,2007-08-29

[8]

灰色调掩模及其制造方法 [P].

福原直喜 .

中国专利 :CN100378565C ,2006-01-18

[9]

用于制造灰色调掩模的方法 [P].

山田文彦 ;

尾崎俊治 ;

佐佐木贵英 ;

石塚正彦 ;

影山景弘 ;

矶博幸 ;

小林良一 ;

林厚 .

中国专利 :CN101821676A ,2010-09-01

[10]

灰色调掩模板及灰色调掩模及它们的制造法、图案复制法 [P].

佐野道明 ;

井村和久 ;

木村泰树 ;

三井胜 .

中国专利 :CN101398611A ,2009-04-01

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