用于制造灰色调掩模的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880111760.2

申请日：

2008-10-09

公开(公告)号：

CN101821676A

公开(公告)日：

2010-09-01

发明(设计)人：

山田文彦尾崎俊治佐佐木贵英石塚正彦影山景弘矶博幸小林良一林厚

申请人：

申请人地址：

日本国埼玉县

IPC主分类号：

G03F108

IPC分类号：

代理机构：

上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242

代理人：

段迎春

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-10-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101008887959 IPC(主分类):G03F 1/08 专利申请号:2008801117602 申请日:20081009
2010-09-01	公开	公开
2013-11-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101675938643 IPC(主分类):G03F 1/08 专利申请号:2008801117602 申请公布日:20100901

共 50 条

[1]

灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN101673049A ,2010-03-17

[2]

灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN1721988A ,2006-01-18

[3]

灰色调掩模的制造方法以及灰色调掩模 [P].

佐野道明 ;

早濑三千彦 .

中国专利 :CN101359168B ,2009-02-04

[4]

灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN1721960A ,2006-01-18

[5]

灰色调掩模的制造方法和灰色调掩模以及图案转印方法 [P].

佐野道明 ;

井村和久 ;

三井胜 .

中国专利 :CN101408725A ,2009-04-15

[6]

灰色调掩模 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN101833236A ,2010-09-15

[7]

灰色调掩模的缺陷修正方法与灰色调掩模 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN101025565B ,2007-08-29

[8]

灰色调掩模板及灰色调掩模及它们的制造法、图案复制法 [P].

佐野道明 ;

井村和久 ;

木村泰树 ;

三井胜 .

中国专利 :CN101398611A ,2009-04-01

[9]

灰色调掩模坯、灰色调掩模及制品加工标识或制品信息标识的形成方法 [P].

深谷创一 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN101650527B ,2010-02-17

[10]

灰色调掩模坯、灰色调掩模及制品加工标识或制品信息标识的形成方法 [P].

深谷创一 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN102929096A ,2013-02-13

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