半色调掩模板及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910243802.4

申请日：

2009-12-21

公开(公告)号：

CN102103323A

公开(公告)日：

2011-06-22

发明(设计)人：

崔承镇金基用

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区西环中路8号

IPC主分类号：

G03F100

IPC分类号：

G03F108

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101094135659 IPC(主分类):G03F 1/00 专利申请号:2009102438024 申请日:20091221
2012-10-10	授权	授权
2015-07-15	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717947216 IPC(主分类):G03F 1/32 专利号:ZL2009102438024 变更事项:专利权人变更前权利人:北京京东方光电科技有限公司变更后权利人:京东方科技集团股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:100176 北京市北京经济技术开发区西环中路8号变更后权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京京东方光电科技有限公司登记生效日:20150626
2011-06-22	公开	公开

共 50 条

[1]

半色调掩模板及TFT基板的制作方法 [P].

莫超德 .

中国专利 :CN105892221B ,2016-08-24

[2]

一种半色调掩模板及其制造方法 [P].

罗丽平 ;

贠向南 ;

许朝钦 ;

金基用 ;

周子卿 .

中国专利 :CN103034045A ,2013-04-10

[3]

一种半色调掩模板 [P].

崔承镇 ;

刘圣烈 ;

宋泳锡 .

中国专利 :CN202003137U ,2011-10-05

[4]

半色调式相移掩模及其制备方法 [P].

咸泳穆 .

中国专利 :CN1115408A ,1996-01-24

[5]

一种掩模板及其制作方法、掩模组件 [P].

谢明哲 ;

谢春燕 ;

刘陆 .

中国专利 :CN103966548B ,2014-08-06

[6]

显示面板的制备方法及半色调掩模板 [P].

孙福坤 ;

徐剑云 ;

俞瑀 ;

谈耀宏 ;

蒋龙琼 ;

蒋冬梅 ;

李顺星 ;

杨森 ;

李旭伟 ;

孙文 .

中国专利 :CN120276205A ,2025-07-08

[7]

半色调式相移掩模及其制造方法 [P].

咸泳穆 .

中国专利 :CN1115411A ,1996-01-24

[8]

半色调掩膜版制作方法 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

吕振群 .

中国专利 :CN109254493A ,2019-01-22

[9]

光刻掩模板清洁方法 [P].

谭智敏 .

中国专利 :CN1994589A ,2007-07-11

[10]

灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN1721988A ,2006-01-18

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