灰色调曝光用掩模、使用该掩模的TFT基板的制造方法和具有该TFT基板的液晶显示装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910166931.8

申请日：

2009-05-20

公开(公告)号：

CN101620374A

公开(公告)日：

2010-01-06

发明(设计)人：

樱井洋

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F108

IPC分类号：

G03F114 H01L2182

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

刘建

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-01-06	公开	公开
2012-02-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101280326169 IPC(主分类):G03F 1/08 专利申请号:2009101669318 公开日:20100106

共 50 条

[1]

TFT基板和使用该TFT基板的液晶显示装置 [P].

星野淳之 .

中国专利 :CN102356352A ,2012-02-15

[2]

TFT、阵列基板及显示装置、制备该TFT的掩模板 [P].

崔承镇 ;

刘圣烈 ;

宋泳锡 .

中国专利 :CN102655175A ,2012-09-05

[3]

TFT基板、具备该基板的液晶显示面板和液晶显示装置、以及TFT基板的制造方法 [P].

平户伸一 .

中国专利 :CN102096261A ,2011-06-15

[4]

TFT基板、具备该基板的液晶显示面板和液晶显示装置、以及TFT基板的制造方法 [P].

平户伸一 .

中国专利 :CN101438204B ,2009-05-20

[5]

TFT基板和包括该TFT基板的显示装置 [P].

申东菜 ;

柳元相 ;

孙庚模 .

中国专利 :CN110534528A ,2019-12-03

[6]

灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN1721988A ,2006-01-18

[7]

TFT基板以及包括该TFT基板的发光显示装置 [P].

吴锦美 .

中国专利 :CN110896090A ,2020-03-20

[8]

电路基板、使用该基板的TFT阵列基板及液晶显示装置 [P].

小川一文 .

中国专利 :CN1225719C ,2002-10-09

[9]

TFT基板、使用该TFT基板的扫描天线以及TFT基板的制造方法 [P].

中泽淳 ;

大类贵俊 ;

森重恭 ;

中野文树 ;

箕浦洁 .

中国专利 :CN107210534B ,2017-09-26

[10]

TFT基板、包括该基板的显示面板和显示装置、TFT基板制造方法 [P].

平户伸一 ;

上嶋基嗣 ;

前田昌纪 .

中国专利 :CN101438337B ,2009-05-20

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