碳化硅晶体生长炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210365201.2

申请日：

2012-09-26

公开(公告)号：

CN102877133B

公开(公告)日：

2013-01-16

发明(设计)人：

黄鸣丁文革谭三成曹永新

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层

IPC主分类号：

C30B2936

IPC分类号：

C30B2300

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

王莹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-16	公开	公开
2016-01-06	授权	授权
2013-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101401522056 IPC(主分类):C30B 29/36 专利申请号:2012103652012 申请日:20120926

共 50 条

[1]

碳化硅晶体生长炉 [P].

胡家乐 .

中国专利 :CN221626443U ,2024-08-30

[2]

碳化硅晶体生长炉 [P].

高冰 .

中国专利 :CN115094513A ,2022-09-23

[3]

碳化硅晶体生长炉 [P].

刘鹏 ;

徐文立 ;

胡建宇 ;

余圣杰 .

中国专利 :CN307653137S ,2022-11-11

[4]

一种碳化硅晶体生长炉和碳化硅晶体生长方法 [P].

范涛礼 ;

陈建明 ;

蔡金荣 ;

张江涛 ;

赵文超 .

中国专利 :CN118272918B ,2024-10-11

[5]

一种碳化硅晶体生长炉和碳化硅晶体生长方法 [P].

范涛礼 ;

陈建明 ;

蔡金荣 ;

张江涛 ;

赵文超 .

中国专利 :CN118272918A ,2024-07-02

[6]

碳化硅晶体生长坩埚及其制备方法、晶体生长炉 [P].

李丙菊 ;

廖雨舟 ;

谭善宥 ;

吴海源 ;

彭浩波 ;

李军 ;

廖寄乔 .

中国专利 :CN117626417A ,2024-03-01

[7]

一种碳化硅晶体生长检测装置、方法及碳化硅晶体生长炉 [P].

皮孝东 ;

沈典宇 ;

王蓉 ;

王芸霞 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN114371223B ,2022-04-19

[8]

复合加热式碳化硅晶体生长炉 [P].

李晓丽 .

中国专利 :CN222182544U ,2024-12-17

[9]

碳化硅晶体生长炉控制系统 [P].

黄鸣 ;

丁文革 ;

谭三成 .

中国专利 :CN102912443B ,2013-02-06

[10]

一种碳化硅晶体生长炉 [P].

李晓峰 .

中国专利 :CN223255528U ,2025-08-22

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