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一种金属掩膜板及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810224416.X
申请日：
2018-03-19
公开(公告)号：
CN110284101A
公开(公告)日：
2019-09-27
发明(设计)人：
刘盛娟
范爽
兰兰
申请人：
申请人地址：
201506 上海市金山区工业区九工路1568号
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C25D108
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
黄志华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20180319 |
| 2019-09-27 | 公开 | 公开 |
| 2023-01-31 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/04 申请公布日:20190927 |