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一种高精度金属掩膜板及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811588621.0
申请日：
2018-12-25
公开(公告)号：
CN109487215A
公开(公告)日：
2019-03-19
发明(设计)人：
罗云鹏
申请人：
申请人地址：
351100 福建省莆田市涵江区涵中西路1号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1404
C23C1412
代理机构：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219
代理人：
林祥翔;黄以琳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-19 | 公开 | 公开 |
| 2019-04-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20181225 |