一种晶圆检测平台及其晶圆检测装置

被引：0

申请号：

CN202122902984.0

申请日：

2021-11-23

公开(公告)号：

CN216979228U

公开(公告)日：

2022-07-15

发明(设计)人：

徐开涛陈夏薇姚建强郭剑飞吴文龙

申请人：

申请人地址：

310000 浙江省杭州市滨江区聚才路410号

IPC主分类号：

G01R3128

IPC分类号：

G01R104 G01R1067

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

王雪莎

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆检测装置 [P].

武一鸣 ;

古市昌稔 .

中国专利 :CN217133393U ,2022-08-05

[2]

一种晶圆表面检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

黄勇新 .

中国专利 :CN221078509U ,2024-06-04

[3]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[4]

晶圆检测平台 [P].

周猛 ;

高智伟 ;

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN222015349U ,2024-11-15

[5]

一种晶圆双片检测平台 [P].

蒋红光 .

中国专利 :CN218380892U ,2023-01-24

[6]

一种晶圆检测平台 [P].

陈春任 ;

雷红平 ;

沈智慧 ;

邱鹏 .

中国专利 :CN221304658U ,2024-07-09

[7]

一种晶圆检测平台 [P].

林宜龙 ;

唐若芹 ;

黄水清 ;

林涛 ;

蔡宗儒 .

中国专利 :CN221977896U ,2024-11-08

[8]

晶圆检测装置 [P].

肖宇 ;

岳湘 ;

易涛 .

中国专利 :CN210775272U ,2020-06-16

[9]

晶圆检测装置 [P].

武一鸣 ;

古市昌稔 .

中国专利 :CN113885090A ,2022-01-04

[10]

晶圆检测装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN204271041U ,2015-04-15

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