晶圆检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420606230.8

申请日：

2014-10-20

公开(公告)号：

CN204271041U

公开(公告)日：

2015-04-15

发明(设计)人：

刘永丰

申请人：

申请人地址：

201100 上海市闵行区黎安路1126号7-9楼

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01N2188

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

李强

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-15	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20141020 授权公告日:20150415 放弃生效日:20171215
2015-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆检测装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN104409376A ,2015-03-11

[2]

一种晶圆表面检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

黄勇新 .

中国专利 :CN221078509U ,2024-06-04

[3]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[4]

晶圆检测装置 [P].

肖宇 ;

岳湘 ;

易涛 .

中国专利 :CN210775272U ,2020-06-16

[5]

晶圆检测装置 [P].

高为达 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN220895458U ,2024-05-03

[6]

晶圆检测装置 [P].

常乐伟 ;

张伟 ;

李立 .

中国专利 :CN221282051U ,2024-07-05

[7]

晶圆检测装置 [P].

武一鸣 ;

古市昌稔 .

中国专利 :CN217133393U ,2022-08-05

[8]

晶圆检测装置 [P].

张记晨 ;

杨金国 ;

周许超 ;

邹秀阳 ;

孙书诚 .

中国专利 :CN217954288U ,2022-12-02

[9]

晶圆检测装置 [P].

杨勇 .

中国专利 :CN118629907A ,2024-09-10

[10]

晶圆检测装置 [P].

司伟 ;

张昊 .

中国专利 :CN217385235U ,2022-09-06

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