晶圆检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322648475.9

申请日：

2023-09-28

公开(公告)号：

CN220895458U

公开(公告)日：

2024-05-03

发明(设计)人：

高为达相宇阳俞胜武陈剑

申请人：

无锡卓海科技股份有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区珠江路97号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/687

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

郭利娜

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-03	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆检测装置 [P].

肖宇 ;

岳湘 ;

易涛 .

中国专利 :CN210775272U ,2020-06-16

[2]

晶圆检测装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN204271041U ,2015-04-15

[3]

晶圆检测装置 [P].

常乐伟 ;

张伟 ;

李立 .

中国专利 :CN221282051U ,2024-07-05

[4]

晶圆检测装置 [P].

武一鸣 ;

古市昌稔 .

中国专利 :CN217133393U ,2022-08-05

[5]

晶圆检测装置 [P].

张记晨 ;

杨金国 ;

周许超 ;

邹秀阳 ;

孙书诚 .

中国专利 :CN217954288U ,2022-12-02

[6]

晶圆检测装置 [P].

司伟 ;

张昊 .

中国专利 :CN217385235U ,2022-09-06

[7]

晶圆检测装置 [P].

戴焕超 ;

赖玉强 ;

陆曙明 ;

黄盛庆 ;

冼家铖 .

中国专利 :CN220438196U ,2024-02-02

[8]

晶圆检测装置和晶圆定位装置 [P].

张学良 ;

高海林 .

中国专利 :CN202770777U ,2013-03-06

[9]

晶圆检测装置及晶圆装载设备 [P].

徐益飞 ;

吴灿 ;

杜振东 ;

孟恒 ;

赵毅斌 ;

雷传 .

中国专利 :CN221650234U ,2024-09-03

[10]

晶圆检测分类装置 [P].

徐立橙 ;

黄家荣 ;

李昱珉 ;

陈彦仲 .

中国专利 :CN206497874U ,2017-09-15

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