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一种集成电路生产检测装置
被引：0
申请号：
CN202122231988.0
申请日：
2021-09-15
公开(公告)号：
CN216351060U
公开(公告)日：
2022-04-19
发明(设计)人：
范福成
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市虎门镇龙眼八路58号2栋201房
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
G01R104
代理机构：
芜湖宸泽知识产权代理事务所(普通合伙) 34208
代理人：
李俊建
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-19 | 授权 | 授权 |