缺陷检查装置和缺陷检查方法

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专利类型
发明
申请号
CN200910211124.3
申请日
2009-11-05
公开(公告)号
CN101738401A
公开(公告)日
2010-06-16
发明(设计)人
高木修
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
G01N21956
IPC分类号
G02F113
代理机构
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人
黄纶伟;马建军
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P]. 
柳濑正和 .
中国专利 :CN103620482B ,2014-03-05
[2]
缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P]. 
谭小地 .
中国专利 :CN102012376B ,2011-04-13
[3]
缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P]. 
吉田康纪 ;
畠堀贵秀 ;
田窪健二 .
中国专利 :CN113646627A ,2021-11-12
[4]
缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P]. 
吉田康纪 ;
畠堀贵秀 ;
田窪健二 .
中国专利 :CN113167767A ,2021-07-23
[5]
缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P]. 
山口升 ;
石川雄大 .
中国专利 :CN1940540A ,2007-04-04
[6]
缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P]. 
吉田康纪 ;
畠堀贵秀 ;
田窪健二 .
日本专利 :CN113646627B ,2024-01-05
[7]
缺陷检查方法和缺陷检查装置 [P]. 
小林信次 ;
松田俊介 .
日本专利 :CN116648618B ,2025-05-02
[8]
缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P]. 
畠堀贵秀 ;
田窪健二 ;
吉田康纪 .
日本专利 :CN113227781B ,2024-02-13
[9]
缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P]. 
畠堀贵秀 ;
田窪健二 ;
吉田康纪 .
中国专利 :CN113227781A ,2021-08-06
[10]
缺陷检查装置和缺陷检查方法 [P]. 
藤木翔太 ;
尾崎新斗 .
日本专利 :CN118777302A ,2024-10-15